特許

J-GLOBAL ID：200903092890996571

チャックヘッド

発明者： 高木 大志
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 舘野 千惠子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-110826
公開番号（公開出願番号）：特開2002-307362
出願日： 2001年04月10日
公開日（公表日）： 2002年10月23日
要約：

【要約】【課題】 搬送用のチャックヘッドにワーク位置決め機能を持たせ、ピックアップ動作と同時にワーク位置決めを行わせて、移載装置の小スペース化、タクトタイムのアップ、更に構造、制御の簡略化を実現することを課題とする。【解決手段】 支持軸の周囲を回動する一対の連結プレート11、12と、この連結プレート11、12の各々にリンクした2対の向かい合うチャック6〜9と、このチャック6〜9に取り付けられたスプリング16、17とを設け、連結プレート11、12が一方向に回動することにより2対のチャック6〜9が開き、連結プレート11、12がフリーとなることにより、チャック6〜9はスプリング16、17の引張り荷重によって閉じ、ワークを位置決めし把持するようにする。

請求項（抜粋）：

半導体基板等の方形のワークを搬送する移載装置に用いられて前記ワークを把持するチャックヘッドにおいて、支持軸の周囲を回動する一対の連結プレートと、この連結プレートの各々にリンクした2対の向かい合うチャックと、このチャックに取り付けられたバネ手段とを具備し、前記連結プレートが加圧されて一方向に回動することにより前記2対のチャックが開き、前記連結プレートに加わる加圧が解かれフリーとなることにより、前記チャックは前記バネ手段の引張り荷重によって閉じ、前記ワークを位置決めして把持することを特徴とするチャックヘッド。

IPC (4件)：

B25J 15/08 ,  B65G 49/06 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/68

FI (5件)：

B25J 15/08 K ,  B25J 15/08 L ,  B65G 49/06 A ,  B65G 49/07 F ,  H01L 21/68 S

Fターム (22件)：

3C007AS01 ,  3C007AS24 ,  3C007DS02 ,  3C007ES05 ,  3C007ES15 ,  3C007ET08 ,  3C007EU14 ,  3C007EU19 ,  3C007EV02 ,  3C007EW03 ,  3C007HS04 ,  5F031CA01 ,  5F031CA04 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031GA14 ,  5F031GA15 ,  5F031GA38 ,  5F031KA11 ,  5F031KA12 ,  5F031LA06 ,  5F031PA16