特許
J-GLOBAL ID:200903092892896477
形状測定装置、原稿画像補正装置及び投影画像補正装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
酒井 宏明
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-301205
公開番号(公開出願番号):特開2003-106826
出願日: 2001年09月28日
公開日(公表日): 2003年04月09日
要約:
【要約】【課題】 光量分解能に起因する測定精度を向上させて、被写体の形状を精度良く測定することができること。【解決手段】 照明装置110は、所定の照射角度毎に、自己照明装置の配置位置とCCD122の配置位置とを結ぶ視差方向に対して離散的な第1の光ストライプパターンと、これとは光強度分布が異なり、前記視差方向に対して離散的な第2の光ストライプパターンとを、測定領域に151に照射する。CCD122は、測定領域151で反射された前記第1及び第2の光ストライプパターンそれぞれの反射光を検知する、形状計算装置130は、CCD122により検知された前記第1及び第2の光ストライプパターンに対応する反射光の光量の比と、3角測量の原理に基づく前記視差とに基づいて、測定領域151の形状を求める。
請求項(抜粋):
3角測量の原理を用いて測定領域の形状を求める形状測定装置であって、前記測定領域に光ストライプパターンを照明する照明手段と、前記測定領域で反射した反射光を検知する検知手段と、前記検知手段の検知結果を基に、前記測定領域の形状を求める形状求め手段と、を備え、前記照明手段は、所定の照射角度毎に、自己照明手段の配置位置と前記検知手段の配置位置とを結ぶ視差方向に対して離散的な第1の光ストライプパターンと、該第1の光ストライプパターンとはストライプの照明方向が同一でかつ光強度分布が異なり、前記視差方向に対して離散的な第2の光ストライプパターンとを、前記測定領域に照明し、前記検知手段は、前記測定領域で反射された前記第1及び第2の光ストライプパターンそれぞれの反射光を検知し、前記形状求め手段は、前記検知手段により検知された前記第1及び第2の光ストライプパターンに対応する反射光の光量の比と、3角測量の原理に基づく前記照明手段の配置位置と前記検知手段の配置位置との間の視差とに基づいて、前記測定領域の形状を求めることを特徴とする形状測定装置。
IPC (4件):
G01B 11/25
, G01B 11/24
, G06T 1/00 315
, G06T 1/00 430
FI (4件):
G06T 1/00 315
, G06T 1/00 430 G
, G01B 11/24 E
, G01B 11/24 K
Fターム (46件):
2F065AA53
, 2F065BB05
, 2F065BB18
, 2F065CC02
, 2F065DD04
, 2F065DD06
, 2F065DD09
, 2F065EE07
, 2F065EE08
, 2F065FF02
, 2F065FF04
, 2F065FF09
, 2F065FF42
, 2F065FF61
, 2F065GG08
, 2F065HH06
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065LL25
, 2F065LL28
, 2F065LL53
, 2F065NN08
, 2F065QQ26
, 2F065QQ31
, 2F065RR05
, 2F065UU08
, 5B047AA07
, 5B047AB02
, 5B047BB04
, 5B047BC05
, 5B047BC07
, 5B047BC12
, 5B047BC14
, 5B047BC23
, 5B047CA19
, 5B047CB09
, 5B047CB22
, 5B047DC09
, 5B057BA02
, 5B057BA15
, 5B057CA08
, 5B057CA13
, 5B057CA16
, 5B057CB12
, 5B057CB16
, 5B057CD12
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