特許
J-GLOBAL ID:200903092893425281
高伝導性銅/耐火金属複合体およびそれらの製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
小田島 平吉
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-583965
公開番号(公開出願番号):特表2004-521185
出願日: 2001年05月16日
公開日(公表日): 2004年07月15日
要約:
複合体が燐および焼結助剤を特定の重量比である「燐/焼結助剤比」で含有する場合に約1%の最大多孔度を有する焼結された銅/耐火金属複合体の熱伝導度が大きく改良される。銅/耐火金属マトリックス複合体はここでは、重量により、約5%〜約30%の銅、約0.2%〜約0.6%の焼結助剤、約0.08%〜約0.3%の燐を含んでなり、残りの金属は耐火金属である。燐対焼結助剤の比は約0.25〜約0.55の範囲である。本発明の1つの態様では、焼結助剤はコバルトを含有しそして耐火金属はタングステンである。改良された熱伝導度を有する銅/耐火金属複合体の製造方法は、銅、焼結助剤、燐および耐火金属を含んでなる粉末状金属を選択し、粉末状金属を混合して粉末状金属の混合物を形成し、粉末状金属の混合物とのグリーンコンパクトを製造し、そして焼結を改良するのに充分な量で化学的に結合された酸素を含有するグリーンコンパクトを還元性雰囲気中で焼結して理論値の少なくとも99%の密度を有する銅/耐火金属複合体を形成することを含んでなる。
請求項(抜粋):
重量により約5%〜約30%の銅、
重量により約0.2%〜約0.6%の焼結助剤、
重量により約0.08%〜約0.3%の燐
を含んでなり、
残りが耐火金属であり、そして
燐/焼結助剤比が約0.25〜約0.55の範囲である、
銅/耐火金属マトリックス複合体。
IPC (9件):
C22C27/04
, C22C1/04
, C22C5/04
, C22C16/00
, C22C27/00
, C22C27/02
, C22C27/06
, H01L23/14
, H01L23/373
FI (12件):
C22C27/04 101
, C22C27/04 102
, C22C1/04 D
, C22C1/04 E
, C22C5/04
, C22C16/00
, C22C27/00
, C22C27/02 102Z
, C22C27/02 103
, C22C27/06
, H01L23/14 M
, H01L23/36 M
Fターム (11件):
4K018AA02
, 4K018AA06
, 4K018AA20
, 4K018AA21
, 4K018AB10
, 4K018AC01
, 4K018DA14
, 4K018DA31
, 4K018KA32
, 4K018KA63
, 5F036BD01
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