特許
J-GLOBAL ID：200903092893939137
走査型プローブ顕微鏡用のカンチレバーチップ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-172606
公開番号（公開出願番号）：特開平6-018257
出願日： 1992年06月30日
公開日（公表日）： 1994年01月25日
要約：
【要約】【目的】カンチレバー部の長さの設計値からのずれを容易に確認できるカンチレバーチップを提供する。【構成】カンチレバーチップ10は、保持基板12と、これに接合された膜材14とを有している。膜材14は、長方形のカンチレバー部16と中抜き三角形のカンチレバー部18とを有している。これらのカンチレバー部16と18は自由端部に探針部20を有している。さらに膜材14は、保持基板12に接合する際にその加工端12aに一致させる指標となるアライメント端22を有している。膜材14は、カンチレバー部16と18の基端からアライメント端22に至るエッジ部分にピッチが一定の階段状の周期的構造24を有している。さらに膜材14は、二つのアライメント端22の間に突起部26を有し、この突起部26のエッジ部分に周期的構造24と同様の周期的構造28を有している。
請求項（抜粋）：
保持基板と、先端に探針部を持つカンチレバー部を含む膜材とを備え、保持基板と膜材は接合されていて、この接合の結果としてカンチレバー部の固定端が定められている走査型プローブ顕微鏡用のカンチレバーチップにおいて、カンチレバー部の固定端の位置の確認を可能にする、カンチレバー部の延びた方向に一定ピッチを有する周期的構造が膜材に設けられていることを特徴とするカンチレバーチップ。
IPC (3件)：
G01B 21/30
, G01B 7/34
, H01J 37/28
