特許
J-GLOBAL ID：200903092902936928
プラズマ生成用ガス通過管の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-075327
公開番号（公開出願番号）：特開平10-264135
出願日： 1997年03月27日
公開日（公表日）： 1998年10月06日
要約：
【要約】【課題】セラミックス製の通過管本体とフランジ部とを備えている通過管を製造するのに際して、通過管本体に対してフランジ部が垂直になるようにし、通過管本体とフランジ部との接合界面からのプラズマ生成用ガスの漏れを防止する。【解決手段】プラズマ生成用ガスを内部に通過させ、通過中のガスに対して外側から紫外線を照射するためのセラミックス製の通過管本体と、通過管本体の外側面に接合されているセラミックス製のフランジ部とを備えている通過管を製造する。通過管本体の成形体を仮焼して仮焼体を得、この仮焼体の外側面を加工し、第一の部分24と、第一の部分24の外径よりも大きい外径を有する第二の部分25とを形成する。第一の部分24の外側面24aと第二の部分25の外側面25aとの間に段差部分26を設ける。通過管本体の仮焼体23を本焼成すると共に、段差部分26に対してフランジ部30を接合する。
請求項（抜粋）：
プラズマ生成用ガスを内部に通過させ、通過中の前記プラズマ生成用ガスに対して外側から紫外線を照射するためのセラミックス製の通過管本体と、前記通過管本体の外側面に接合されているセラミックス製のフランジ部とを備えている、プラズマ生成用ガス通過管を製造するのに際して、前記通過管本体の成形体を仮焼して仮焼体を得、次いでこの仮焼体の外側面を加工することによって、第一の部分と、この第一の部分の外径よりも大きい外径を有する第二の部分とを形成し、前記第一の部分の外側面と前記第二の部分の外側面との間に段差部分を設け、次いで前記通過管本体の仮焼体を本焼成すると共に前記段差部分に対して前記フランジ部を接合することを特徴とする、プラズマ生成用ガス通過管の製造方法。
IPC (4件)：
B28B 21/92
, C04B 37/00
, H01L 21/205
, H01L 21/3065
B28B 21/92
, C04B 37/00 A
, H01L 21/205
, H01L 21/302 B
