特許
J-GLOBAL ID:200903092910282228

ワーク固定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 池田 治幸
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-345233
公開番号(公開出願番号):特開2004-179472
出願日: 2002年11月28日
公開日(公表日): 2004年06月24日
要約:
【課題】変形し難いワークであってもその反りに拘わらず吸着保持の容易なワーク固定装置を提供する。【解決手段】貫通孔18内に備えられた吸着部材26の先端面46が載置面16の法線方向に沿って移動可能に構成されているため、貫通孔38から吸引した際には、その先端面46とワーク12裏面との間に発生した負圧に基づいてその先端面46がそのワーク12に接近する方向に移動させられ、且つその先端面46がそのワーク12裏面に密接させられる。そのため、ワーク12の反り等に起因してその裏面が載置面16に接していない場合にも、吸着部材26の先端面46が密接させられることによって、ワーク12裏面と吸着部材26との間に隙間の生じることが解消されるので、その吸引力に従ってそのワーク12がその吸着部材26に吸着される。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
ワークを載せるための載置面を備え、平坦な裏面を有するワークをその裏面がその載置面に向かう向きで固定するためのワーク固定装置であって、 前記載置面に開口する吸引口と、 前記載置面の法線方向に沿って移動可能な先端面とその先端面に開口する吸引孔とを有して前記吸引口内に備えられ且つその吸引孔から吸引することにより前記ワークの裏面にその先端面を密接させるための吸着部材と、 前記先端面の前記法線方向における移動範囲を制限するための移動制限部材と を、含むことを特徴とするワーク固定装置。
IPC (2件):
H01L21/68 ,  B23Q3/08
FI (2件):
H01L21/68 P ,  B23Q3/08 A
Fターム (7件):
3C016DA04 ,  3C016DA07 ,  5F031CA05 ,  5F031HA14 ,  5F031MA22 ,  5F031MA33 ,  5F031PA08

前のページに戻る