特許

J-GLOBAL ID：200903092913236324

ラッピングキャリヤ

発明者： 猪爪 正一
出願人/特許権者： 株式会社 リバースチール
代理人 (1件)： 須田 正義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-262680
公開番号（公開出願番号）：特開2000-084835
出願日： 1998年09月17日
公開日（公表日）： 2000年03月28日
要約：

【要約】【課題】機械的強度の低下を抑制しつつ研磨剤の透過面積を拡大し、ラッピング装置による被研磨物の研磨時の波打ち変形を防止する。【解決手段】ラッピングキャリヤは、定盤11の中央に設けられた太陽ギヤ12と太陽ギア12と同心状に定盤11の周面に設けられたインターナルギヤ13とに噛合する歯車21がキャリヤ本体22の外周面に形成され、キャリヤ本体22に被研磨物を挿入可能な支持孔23と研磨剤を透過させる抜き孔とが形成されたものであり、厚さが20〜1000μmである。歯車21及びその周縁と支持孔23及びその周縁以外のキャリヤ本体22の残部がメッシュ26に形成され、抜き孔がメッシュの目27である。メッシュの目27の間隔は0.3〜1.5mmであり、その目27の形状は角形又は円形であり、メッシュの目27の大きさは0.5〜4mmである。

請求項（抜粋）：

定盤(11)の中央に設けられた太陽ギヤ(12)と前記太陽ギア(12)と同心状に前記定盤(11)の周面に設けられたインターナルギヤ(13)とに噛合する歯車(21)がキャリヤ本体(22)の外周面に形成され、前記キャリヤ本体(22)に被研磨物を挿入可能な支持孔(23)と研磨剤を透過させる抜き孔とが形成された厚さが20〜1000μmのラッピングキャリヤにおいて、前記歯車(21)及びその周縁と前記支持孔(23)及びその周縁以外のキャリヤ本体(22)の残部がメッシュ(26)に形成され、前記抜き孔が前記メッシュの目(27)であることを特徴とするラッピングキャリヤ。

IPC (2件)：

B24B 37/04 ,  H01L 21/304 621

FI (2件)：

B24B 37/04 C ,  H01L 21/304 621 A

Fターム (12件)：

3C058AA07 ,  3C058AB04 ,  3C058AB08 ,  3C058AC04 ,  3C058CA04 ,  3C058CA05 ,  3C058CA06 ,  3C058CB01 ,  3C058CB06 ,  3C058CB10 ,  3C058DA06 ,  3C058DA09