特許

J-GLOBAL ID：200903092914164769

X線断層面検査装置

発明者： 芝田 健治 ,  西村 成生 ,  松下 由之
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 竹本 松司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-140328
公開番号（公開出願番号）：特開2000-046760
出願日： 1999年05月20日
公開日（公表日）： 2000年02月18日
要約：

【要約】【課題】 X線断層面検査装置において鮮明なX線画像を得る。【解決手段】 被検出体6に対してX線を照射するX線源と、被検出体上のX線の照射位置を変更するX線照射位置変更機構(走査X線源2あるいは被検出体移動機構)と、被検出体を挟んでX線源と対向配置し、被検出体を透過した透過X線を検出するX線平面センサ7と、X線照射位置変更機構によって変更したX線の各照射位置においてX線平面センサが検出した透過X線により得られる複数の画像データを合成して、被検出体の任意断層面の画像を生成する画像処理手段8とを備える構成とする。透過X線を検出するX線検出手段として1つのX線平面センサ7を用いることによって、受像系において回転や上下動作のための駆動機構を不要として、断層面の高さ精度を向上させると共に簡易な構造で、高い鮮明度のX線画像を得る。

請求項（抜粋）：

被検出体に対してX線を照射するX線源と、被検出体上のX線の照射位置を変更するX線照射位置変更機構と、被検出体を挟んでX線源と対向配置し、被検出体を透過した透過X線を検出するX線平面センサと、X線照射位置変更機構によって変更したX線の各照射位置においてX線平面センサが検出した透過X線により得られる複数の画像データを合成して、被検出体の任意断層面の画像を生成する画像処理手段とを備える、X線断層面検査装置。

IPC (3件)：

G01N 23/04 ,  G01N 23/18 ,  H05K 3/34 512

FI (3件)：

G01N 23/04 ,  G01N 23/18 ,  H05K 3/34 512 B