ウエハ貼付け装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-176395
公開番号（公開出願番号）：特開平6-021220
出願日： 1992年07月03日
公開日（公表日）： 1994年01月28日
要約：

【要約】【構成】ウエハをダイシング装置に於て個別のチップに分離する際にチップが飛散することを防止するためにリング(ハンドリング用の治具)にテープを用いてウエハを固定する装置において、ウエハと押し付け部が相対的に螺旋状に動作する機構とウエハを球面状に凸状態で固定する事と無数の穴があいているテープとから成るウエハ貼付け装置。【効果】気泡が全く無い状態で貼付けることが出来る。この結果、貼付け後に作業者が気泡の有無の確認、気泡を外に出す作業が無くなる。またチップ分離を行なうダイシング作業に於て、気泡によるチップ飛びが無くなり、砥石の損傷がなくチップ分離加工が品質的にも安定して行なうことが出来る。これらにより作業効率の向上と歩留まり向上が図られる。

請求項（抜粋）：

ウエハとリングとをテープを用いて貼付ける工程に於て、ウエハとテープとを貼付ける押し付け部とが相対的にウエハ中心から螺旋状にウエハ外周に向かって動作することを特徴とするウエハ張付け装置。

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