圧力センサ

発明者： , , , , , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：森本義弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-243875
公開番号（公開出願番号）：特開平6-094555
出願日： 1992年09月14日
公開日（公表日）： 1994年04月05日
要約：

【要約】【目的】被測定ガスに直接触れる材料の膨潤と収縮等による変形、変質を防止してセンサ外部へのガス漏れを防止し、また被測定ガス中のごみの付着によるセンサ特性劣化をも防止して、長期間、シリコン膜へ正確なガス圧力が印加される信頼性の高い圧力センサを提供する。【構成】被測定対象ガスを受圧するための被測定流体導入部2と基準流体を受圧するための基準流体導入部5との間に、両流体の差圧を検出する圧力検出部7を設け、圧力検出部7と被測定流体導入部2との間には、被測定対象ガスに直接接触させない隔壁部13を設ける。

請求項（抜粋）：

被測定流体の圧力と基準圧力との差圧を測定するために設けられ、前記被測定流体を導入する被測定流体導入部と、前記基準圧力となる基準流体を導入する基準流体導入部と、前記被測定流体導入部と前記基準流体導入部との間に設けられ前記差圧を検出する圧力検出部と、前記圧力検出部と前記被測定流体を直接接触させない隔壁部とで構成された圧力センサ。

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平3-264830
特開平2-120634
特開平2-170032

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