特許

J-GLOBAL ID：200903092944429538

光学顕微鏡を組み込んだ走査型電子顕微鏡

発明者： 河合 英治
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-096762
公開番号（公開出願番号）：特開平11-271631
出願日： 1998年03月25日
公開日（公表日）： 1999年10月08日
要約：

【要約】【課題】 半導体検査用走査型電子顕微鏡に組み込まれた光学顕微鏡の焦点合わせのための対物レンズ駆動機構において、微粒子発生のない機構を提供し、更にこれによって、高い倍率の対物レンズが使用できるようにする。【解決手段】光学顕微鏡の対物レンズを平行四辺形型の拡大テコに取り付け、拡大テコの作用点を電歪アクチュエータで駆動して焦点合わせを行い、更に、レーザ変位センサで対物レンズの変位を測定し、電歪アクチュエータの駆動回路にフィードバックする手段を備える。

請求項（抜粋）：

光学顕微鏡を組み込んだ走査型電子顕微鏡において、前記光学顕微鏡の対物レンズを取り付ける拡大テコと、該拡大テコの作用点を駆動する電歪あるいは磁歪アクチュエータとを備え、前記対物レンズと前記走査型電子顕微鏡に装填された試料表面との距離を調節できるようにしたことを特徴とする走査型電子顕微鏡。

IPC (3件)：

G02B 21/00 ,  H01J 37/22 502 ,  H01J 37/28

FI (3件)：

G02B 21/00 ,  H01J 37/22 502 L ,  H01J 37/28 B