特許
J-GLOBAL ID：200903092948527070
酸化物微粒子積層膜の製法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
工業技術院名古屋工業技術研究所長
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-169601
公開番号（公開出願番号）：特開平7-007192
出願日： 1993年06月15日
公開日（公表日）： 1995年01月10日
要約：
【要約】【目的】 噴霧熱分解法によって作製した微粒子の供給量を制御することで、異なる組成の微粒子層がシ-ケンシャルに堆積された積層膜を作製可能にする。【構成】 超電導体の組成となるように調製した硝酸塩などの溶液を霧化装置により微小な液滴とし、これを所定の温度・雰囲気・流量条件で反応させて超電導体微粒子を得る。2つの噴霧熱分解反応部で合成された各微粒子を捕集部へ交互に供給して積層膜を作製する。各反応部に例えば電磁弁を設け、一方の弁を開放し他方を閉じる。まず開放している方の微粒子を捕集部へ送りフィルタ-上に堆積させる。一定時間後に弁を切り替え、最初の微粒子層の上に次の微粒子を積層化する。この操作を繰り返すことで積層膜を形成させる。
請求項（抜粋）：
【請求項】 イットリウム系・ビスマス系超電導体微粒子や超電導体前駆体微粒子または超電導体以外の金属系微粒子を噴霧熱分解法によって直接合成し、これらのエアロゾル状態の微粒子の供給量を制御して異なる組成の微粒子層がシ-ケンシャルに堆積された積層膜を作製する方法。
IPC (2件)：
H01L 39/24 ZAA
, H01L 39/02 ZAA
