特許

J-GLOBAL ID：200903092950228188

位置決め機構、位置決め装置及び情報記録装置

発明者： 上野 俊明
出願人/特許権者： ヒューレット・パッカード・カンパニー
代理人 (1件)： 久保田 千賀志 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-261292
公開番号（公開出願番号）：特開平10-105243
出願日： 1996年09月10日
公開日（公表日）： 1998年04月24日
要約：

【要約】【課題】 走査型プローブ顕微鏡、メディア移動型の情報記録装置、マニピュレータ等に使用される位置決め装置において、装置全体を大型化することなく、数十μm以上の大きな可動範囲を有する位置決め機構および位置決め装置を提供する。【解決手段】 両端がフレーム2a,2bに固定され、与えられた駆動信号に応じて湾曲する長手部材6a,6Bからなるアクチュエータを有する位置決め機構であって、前記長手部材の固定端を除く一部分が、位置決め対象に固定または押接され、前記長手部材を位置決め対象に対して凸状および/または凹状に湾曲させることにより、前記位置決め対象を移動させることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

両端がフレームに固定され、与えられた駆動信号に応じて湾曲する長手部材からなるアクチュエータを有する位置決め機構であって、前記長手部材の固定端を除く一部分が、位置決め対象に固定または押接され、前記長手部材を位置決め対象に対して凸状および/または凹状に湾曲させることにより、前記位置決め対象を移動させることを特徴とする位置決め機構。

IPC (4件)：

G05D 3/00 ,  G01N 37/00 ,  G11B 9/00 ,  H01L 21/68

FI (4件)：

G05D 3/00 G ,  G01N 37/00 A ,  G11B 9/00 ,  H01L 21/68 K

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開昭64-081286