特許
J-GLOBAL ID：200903092950623800
イオン源
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
原 謙三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-222282
公開番号（公開出願番号）：特開平9-063495
出願日： 1995年08月30日
公開日（公表日）： 1997年03月07日
要約：
【要約】【課題】 プラズマスパッタによるプラズマスリット2の自動クリーニング機能を有するプラズマチャンバ1を備えたイオン源において、従来よりもさらに長寿命化を図る。【解決手段】 プラズマスリット2は、イオン引出孔2aの付近のチャンバ内側部分がBNシールド6で被われることなく部分的に露出していると共に、プラズマスリット2のチャンバ内側部分を被っているBNシールド6のイオン引出孔2a側の側壁面6aは、プラズマスリット2の一部によって塞がれている構成である。
請求項（抜粋）：
プラズマ中のイオンを外部へ引き出すためのイオン引出孔が穿設されている導電性のイオン引出部を有し、内部でプラズマが生成されるプラズマチャンバを備え、上記プラズマチャンバの内壁面が誘電体で被われると共に、導電性のプラズマチャンバ本体とイオン引出部とが絶縁部材によって電気的に絶縁されており、プラズマチャンバ本体とイオン引出部との間にスパッタ電圧を印加するスパッタ電源を備えているイオン源において、上記イオン引出部は、イオン引出孔の付近のチャンバ内側部分が誘電体で被われることなく部分的に露出していると共に、上記イオン引出部のチャンバ内側部分を被っている誘電体のイオン引出孔側の側壁面は、イオン引出部の一部によって塞がれていることを特徴とするイオン源。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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