半導体装置及びその製造方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡本啓三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-065270
公開番号（公開出願番号）：特開2003-204043
出願日： 2002年03月11日
公開日（公表日）： 2003年07月18日
要約：

【要約】【課題】キャパシタを有する半導体装置の製造方法に関し、電極を構成するプラチナと配線を構成するアルミニウムの反応を十分に防止すること。【解決手段】半導体基板1の上方の第1絶縁膜10の上に形成されてコンタクト領域を有し且つプラチナからなる下部電極11aと、下部電極11a上に誘電体膜12aを介して形成された上部電極13aとを有するキャパシタと、キャパシタの上に形成された第2絶縁膜18と、第2絶縁膜18のうち下部電極11aのコンタクト領域の上に形成されたホール20bと、ホール20bの底における最小膜厚が30nmよりも厚い下地導電膜21とアルミニウム膜22とを順に形成して構成されてホール20b内から第2絶縁膜18の上に形成される配線21bとを含む。

請求項（抜粋）：

半導体基板に形成された第1の不純物領域及び第2の不純物領域と該半導体基板上に形成されたゲート電極とを有するトランジスタと、前記トランジスタを覆い且つ表面が平坦化された第1の絶縁膜と、前記第1の絶縁膜の上に形成され、強誘電体材料と高誘電体材料のいずれかよりなる誘電体膜と該誘電体膜を挟む上部電極及び下部電極とを有するキャパシタと、前記キャパシタ及び前記第1の絶縁膜の上に形成されて表面が平坦化された第2の絶縁膜と、前記第1の絶縁膜のうち前記第1の不純物領域の上に形成された第1のホールと、前記第1のホールの中に形成された第1のプラグと、前記第2の絶縁膜のうち前記キャパシタの前記下部電極と前記上部電極の上にそれぞれ形成された第2のホールと第3のホールと、前記第2の絶縁膜の上に形成された導電膜から構成され、前記第3のホールを通して前記上部電極に接続され且つ前記第1のプラグに接続される第1の導電パターンと、前記第2の絶縁膜の上で前記導電膜から構成され、かつ前記第2のホールを通して前記下部電極に接続される第2の導電パターンとを有することを特徴とする半導体装置。

IPC (3件)：

H01L 27/105 , H01L 21/3205 , H01L 21/768

FI (3件)：

H01L 27/10 444 B , H01L 21/90 B , H01L 21/88 N

Fターム (83件)：

5F033HH04 , 5F033HH08 , 5F033HH09 , 5F033HH18 , 5F033HH26 , 5F033HH33 , 5F033HH34 , 5F033JJ01 , 5F033JJ08 , 5F033JJ09 , 5F033JJ18 , 5F033JJ19 , 5F033JJ33 , 5F033JJ34 , 5F033KK01 , 5F033KK07 , 5F033KK18 , 5F033KK31 , 5F033KK35 , 5F033LL04 , 5F033MM05 , 5F033MM13 , 5F033NN06 , 5F033NN07 , 5F033PP06 , 5F033PP15 , 5F033PP21 , 5F033QQ08 , 5F033QQ09 , 5F033QQ10 , 5F033QQ11 , 5F033QQ19 , 5F033QQ31 , 5F033QQ37 , 5F033QQ48 , 5F033QQ58 , 5F033QQ65 , 5F033QQ70 , 5F033QQ73 , 5F033RR03 , 5F033RR04 , 5F033RR08 , 5F033SS02 , 5F033SS04 , 5F033SS08 , 5F033SS11 , 5F033SS15 , 5F033TT02 , 5F033TT08 , 5F033VV16 , 5F033WW02 , 5F033XX01 , 5F033XX13 , 5F033XX14 , 5F033XX20 , 5F033XX28 , 5F083FR02 , 5F083GA21 , 5F083JA02 , 5F083JA05 , 5F083JA15 , 5F083JA17 , 5F083JA19 , 5F083JA35 , 5F083JA36 , 5F083JA37 , 5F083JA38 , 5F083JA39 , 5F083JA40 , 5F083JA43 , 5F083JA53 , 5F083KA19 , 5F083MA05 , 5F083MA06 , 5F083MA19 , 5F083MA20 , 5F083NA01 , 5F083PR03 , 5F083PR21 , 5F083PR22 , 5F083PR23 , 5F083PR33 , 5F083PR34

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