表面欠陥検査装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-232915
公開番号（公開出願番号）：特開平9-079988
出願日： 1995年09月11日
公開日（公表日）： 1997年03月28日
要約：

【要約】【目的】画像のコントラストの低下を防ぎ、より精密で効率のよい検査を行なうことの出来る表面欠陥検査装置を提供する。【構成】照明装置1により被検査面3に所定の明暗パターンの光を照射し、ビデオカメラ2により撮像するよう配置され、ホストコンピュータ6により制御される画像処理装置5へ出力され、モニタ7により表示する。【効果】被検査面の曲率に応じて照明装置を制御するように構成したことにより、画像のコントラストつまり欠陥とその周囲との輝度差が大きくなるので、欠陥検出がより容易となり、また、大型な照明を使用できるのでより効率のよい検査が可能となる。さらに、余分な光源は消灯するので省電力化が図れる。

請求項（抜粋）：

被検査面に光を照射し、その被検査面からの反射光に基づいて受光画像を作成し、この受光画像に基づいて被検査面上の欠陥を検出する表面欠陥検査装置において、被検査面に所定の明暗パターンを映し出す照明手段と、上記被検査面の曲率に応じて上記照明手段の点灯位置を制御する照明制御手段と、上記明暗パターンの映し出された被検査面を撮像して得られる受光画像を電気信号の画像データに変換する撮像手段と、上記撮像手段によって得られた画像データを処理して欠陥を検出する欠陥検出手段と、を備えたことを特徴とする表面欠陥検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/88 , G01B 11/30 , G06T 7/00

FI (4件)：

G01N 21/88 A , G01N 21/88 J , G01B 11/30 C , G06F 15/62 400

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