特許
J-GLOBAL ID：200903092954442320
感光性組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-194444
公開番号（公開出願番号）：特開平5-034903
出願日： 1991年08月02日
公開日（公表日）： 1993年02月12日
要約：
【要約】【構成】 アルカリ可溶性樹脂、光酸発生剤、架橋剤及び塗布溶媒として下記式〔I〕で示される化合物を含有してなるネガ型感光性組成物。 R1 -〔OCH(CH3 )CH2 〕m -OR2 ・・・・〔I〕(式中、R1 及びR2 はアセチル又はC1 〜C4 アルキルを、mは1又は2を示す。)【効果】 本発明の感光性組成物は、毒性の問題がなく、保存安定性が良好で、しかも解像性に優れ極めて有用である。
請求項（抜粋）：
アルカリ可溶性樹脂、光酸発生剤、酸性条件下で作用するアルカリ可溶性樹脂の架橋剤及び溶媒として下記式〔I〕で示される化合物を含有することを特徴とするネガ型感光性組成物。 R1 -〔OCH(CH3 )CH2 〕m -OR2 ・・・・〔I〕(式中、R1 及びR2 は夫々独立してアセチル基又はC1 〜C4 アルキル基を示し、mは1又は2を示す。)
IPC (5件)：
G03F 7/004 503
, G03F 7/004 502
, G03F 7/029
, G03F 7/038
, H01L 21/027
