特許
J-GLOBAL ID：200903092958249753
小型コイルとその製造方法,磁気ヘツドの製造方法及び磁気記憶装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-209676
公開番号（公開出願番号）：特開平5-055043
出願日： 1991年08月22日
公開日（公表日）： 1993年03月05日
要約：
【要約】【目的】 薄膜技術により製造される小型コイルに関し,薄膜集積回路への組み込みが容易な小型コイルを提供することを目的とする。。【構成】 基板1上に絶縁層7a〜7cを挟んで重層されたワンターンコイル2をビアホール5により接続して螺旋としたコイルであって,ワンターンコイル2エッチングで形成され,その切断部の両端に同一回転方向順に設けられた入力端3a〜3c及び出力端4a〜4cは,それぞれその下のワンターンコイルの出力端及びその上のワンターンコイルの入力端とビアホール5により電気的に接続して構成し,及び,基板上に形成されたコイルであって,薄膜をエッチングして形成した下層導電体線の一つから第一ビアホール,薄膜をエッチングして形成した上層導電体線,第二ビアホールを通り該下層導電体線の一つに隣接する他の一つの下層導電体線に至るループを一ピッチとして構成する。
請求項（抜粋）：
基板(1)上に絶縁層(7a,7b,7c)を挟んで重層されたワンターンコイル(2)をビアホール(5)により接続して螺旋としたコイルであって,該ワンターンコイル(2)は,基板(1)上に堆積された導電体薄膜をエッチングして形成され,該ワンターンコイル(2)の入力端(3a,3b,3c)及び出力端(4a,4b,4c)は,該ワンターンコイル(2)の切断部の両端に該ワンターンコイル(2)の全てについて同一回転方向順に設けられ,該ワンターンコイル(2)は,該ワンターンコイル(2)の入力端(3b,3c)が該ワンターンコイル(2)の直下に隣接する他のワンターンコイルの出力端(4a,4b)と重なるように設置され,該ワンターンコイル(2)の入力端(3b,3c)と該直下に隣接する他のワンターンコイルの出力端(4a,4b)とがビアホール(5)により電気的に接続されていることを特徴とする小型コイル。
IPC (2件)：
前のページに戻る
