特許
J-GLOBAL ID：200903092958677097
基板収容容器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-112002
公開番号（公開出願番号）：特開平7-297272
出願日： 1994年04月27日
公開日（公表日）： 1995年11月10日
要約：
【要約】【目的】 レチクルカセットの押圧部材がレチクルに吸着するのを防ぐ。【構成】 レチクルR1 を下皿20の各支持部材23の上に載置して上蓋10をかぶせ、レチクルR1 の上面に各押圧部材14を押圧した状態で掛け金部材13によって上蓋10と下皿20を一体化する。各押圧部材14は非弾性材料で作られた当接片14bを有し、当接片14bがレチクルR1 に接触するため、押圧部材14にレチクルR1 が吸着されて上蓋10を開くときにこれとともに持ち上げられるおそれはない。
請求項（抜粋）：
互に開閉自在である一対の容器部材を有し、該一対の容器部材のそれぞれが両者の間に収容された基板を支持する基板支持手段を備えており、少なくとも一方の容器部材の基板支持手段が弾力的に変形自在である少なくとも1個の押圧部材を有し、該押圧部材の少なくとも前記基板に接触する表面が非弾性材料で作られていることを特徴とする基板収容容器。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B65D 85/00
, H01L 21/027
