特許
J-GLOBAL ID:200903092961794517
セラミックヒーター、セラミックヒーターの製造方法、および金属部材の埋設品
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
細田 益稔 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-088585
公開番号(公開出願番号):特開2003-288975
出願日: 2002年03月27日
公開日(公表日): 2003年10月10日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】セラミック焼結体と、焼結体に接触するように設けられている抵抗発熱体とを備えているセラミックヒーターにおいて、加熱面の温度の均一性の変動を抑制する。【解決手段】抵抗発熱体5A、5Bが、周期律表4a、5aおよび6a族元素から選ばれた一種以上の金属元素を含む金属と、この金属の炭化物とを含んでいる。X線回折法によって測定される金属炭化物のメイン強度ピーク(Ic)の合計値の金属のメイン強度ピークの合計値(Im)に対する比率(Ic/Im)が0.2以下である。あるいは、成形体の焼結に伴う抵抗発熱体の抵抗値の変化率((Rb-Ra)/Ra)(Raは、焼結前の抵抗発熱体の抵抗値であり、Rbは、焼結後の抵抗値である)が30%以下である。
請求項(抜粋):
セラミック焼結体と、このセラミック焼結体に接触するように設けられている抵抗発熱体とを備えているセラミックヒーターであって、前記抵抗発熱体が、周期律表4a、5aおよび6a族元素から選ばれた一種以上の金属元素を含む金属と、この金属の炭化物とを含んでおり、X線回折法によって測定される前記金属炭化物のメイン強度ピーク(Ic)の合計値の前記金属のメイン強度ピークの合計値(Im)に対する比率(Ic/Im)が0.2以下であることを特徴とする、セラミックヒーター。
IPC (4件):
H05B 3/12
, H05B 3/14
, H05B 3/18
, H05B 3/74
FI (4件):
H05B 3/12 A
, H05B 3/14 B
, H05B 3/18
, H05B 3/74
Fターム (13件):
3K092PP20
, 3K092QA05
, 3K092QB02
, 3K092QB26
, 3K092QB74
, 3K092RF03
, 3K092RF11
, 3K092RF19
, 3K092RF22
, 3K092RF27
, 3K092UB02
, 3K092VV09
, 3K092VV22
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