特許
J-GLOBAL ID：200903092962143439
ワークピースの支持チャックの支持面に離間してワークピースを支持する装置及び離間マスクの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 稔 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-051255
公開番号（公開出願番号）：特開平9-327188
出願日： 1997年03月06日
公開日（公表日）： 1997年12月16日
要約：
【要約】【課題】ワークピース支持チャックに離間してワークピースを支持するためのウェハ離間マスクを得ること。【解決手段】このウェハ離間マスクは、チャック本体108の支持面上に堆積された複数の金属支持部材112を有する。この支持部材は、チャックの支持面に離間してウェハ116、或いは他のワークピースをを保持しする。ウェハの裏面とチャック間の距離は支持部材112の厚さによって規定される。この距離は、チャックの表面上にある汚染粒子110の予期された直径より大きくなければならない。このようにすれば、汚染粒子は、処理中にウェハの裏面に付着することがない。
請求項（抜粋）：
ワークピースの支持チャックの支持面に離間してワークピースを支持するための装置であって、離間マスクを備え、前記離間マスクが金属材料から製造される場合、前記ワークピースの支持チャックの支持面上に堆積され、前記支持面に離間して前記ワークピースを支持することを特徴とする装置。
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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