特許

J-GLOBAL ID：200903092966043803

液体原料気化装置及びガス噴射装置

発明者： 福永 由紀夫 ,  村上 武司 ,  小榑 直明 ,  本郷 明久
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 渡邉 勇 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-102809
公開番号（公開出願番号）：特開平10-046343
出願日： 1997年04月04日
公開日（公表日）： 1998年02月17日
要約：

【要約】【課題】 高誘電体の素材となる液体原料を、気化のための十分な滞留時間をもって効率良く気化するとともに、気化後の変質を防止して安定な原料供給を行なう。【解決手段】 互いに対向して相対的に回転する内外の筒状壁1,5の少なくとも一方に、原料流入口6に連通する螺旋状の流路13が形成され、筒状壁の少なくとも一方を加熱する加熱手段16が設けられ、流路の下流側に、回転に伴って流路内を流れる原料ガスの背圧を保持する圧力発生部32a,32bが設けられている。

請求項（抜粋）：

互いに対向して相対的に回転する内外の筒状壁の少なくとも一方に、原料流入口に連通する螺旋状の流路が形成され、前記筒状壁の少なくとも一方を加熱する加熱手段が設けられ、前記流路の下流側に、前記回転に伴って該流路内を流れる原料ガスの背圧を保持する圧力発生部が設けられていることを特徴とする液体原料気化装置。

IPC (3件)：

C23C 16/44 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/31

FI (4件)：

C23C 16/44 C ,  C23C 16/44 D ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/31 B