カセット搬送装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：樺澤襄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-068355
公開番号（公開出願番号）：特開平8-259193
出願日： 1995年03月27日
公開日（公表日）： 1996年10月08日
要約：

【要約】【目的】複数の基板を収納した基板を、内部に収納された基板の方向を変化させるためカセットを回動することができるカセット搬送装置を提供する。【構成】複数枚のガラス基板11を水平方向に収納したカセット13を次の工程に搬送する場合、移動台車21上に上下動可能に構成されたチャック機構26を、カセット13の一端側に位置合わせし、相対する側面を一対のクランプ36a ,36b によって挟持する。昇降機構25によりチャック機構26に保持したカセット13を搬送に適した高さに位置させ、次工程の位置に向かって移動台車21を移動させる。移動途中で、チャック機構26に連結した回転駆動機構40を操作し、クランプ36a ,36b によって保持しているカセット13を回動させ、内部に収納したガラス基板11を垂直にする。

請求項（抜粋）：

複数枚の基板をほぼ平行に収納したカセットを任意の位置まで搬送するカセット搬送装置において、任意の停止位置に固定可能な移動装置と、一対のクランプを有し、この一対のクランプにより前記カセットを挟持するチャック機構と、このチャック機構に連結されこのチャック機構を回転させる回転駆動機構とを具備したことを特徴とするカセット搬送装置。

IPC (5件)：

B66F 9/06 , B66F 9/14 , B66F 9/18 , G02F 1/13 101 , B65G 47/52 101

FI (6件)：

B66F 9/06 A , B66F 9/14 Q , B66F 9/18 A , B66F 9/18 N , G02F 1/13 101 , B65G 47/52 101 A

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