特許

J-GLOBAL ID：200903092980824222

固体撮像装置の反射防止膜の形成方法

発明者： 円道 博毅 ,  名取 太知 ,  堀内 俊二
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-252560
公開番号（公開出願番号）：特開平7-086545
出願日： 1993年09月14日
公開日（公表日）： 1995年03月31日
要約：

【要約】【目的】 固体撮像装置の反射防止膜の形成方法を提供することによって、固定撮像装置の製造工程の削減と信頼性の向上を図ることを目的とする。【構成】 固体撮像素子が形成された基板1の上面に、複数色の顔料またはカーボンブラックを含有させた黒色系のカラーレジストを塗布して着色層4を形成する。次いで、リソグラフィー法によって固体撮像素子の受光部11とボンディングパッド21との上方の着色層4を除去し、基板1の上面に残した着色層4で基板1の上面に反射防止膜5を形成する。この反射防止膜5は、波長が400nmから700nmの範囲の光に対する平均透過率が5%から40%にする。これによって、反射防止膜5の形成工程が簡略化され、反射防止膜5中の色素の耐熱性と耐光性が向上する。

請求項（抜粋）：

固体撮像素子が形成された基板の上面に色素を含有させた黒色系のカラーレジストを塗布して着色層を形成する工程と、リソグラフィー法によって少なくとも前記固体撮像素子の受光部の上方の前記着色層を除去し、前記基板の上面に残した前記着色層で当該基板の上面に反射防止膜を形成する工程とを行うことを特徴とする固体撮像装置の反射防止膜の形成方法。

IPC (2件)：

H01L 27/14 ,  H04N 5/335

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平1-287961
  
• 特開平4-206874
  
• 特開平1-287961
  
• 特開平4-206874