特許

J-GLOBAL ID：200903092989261689

スクラブ洗浄装置

発明者： 齊藤 高寿 ,  小室 善昭
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-024904
公開番号（公開出願番号）：特開平8-215645
出願日： 1995年02月14日
公開日（公表日）： 1996年08月27日
要約：

【要約】【目的】 被洗浄面へのパーティクルの再付着を低減できるとともに、洗浄時間の短縮を図ることができるスクラブ洗浄装置を提供する。【構成】 洗浄ブラシ1を回転させた状態で洗浄毛に洗浄液を供給しつつ毛先部分を被洗浄面に押し当てて洗浄処理を行うスクラブ洗浄装置であって、洗浄ブラシ1に洗浄毛を植毛するにあたり、洗浄ブラシ1の回転中心P側の領域Aをその外側領域Bよりも低い植毛密度で植毛することにより、回転中心側の領域Aで洗浄毛に付着残留するパーティクルのトータル個数を減少させるようにした。

請求項（抜粋）：

複数本の洗浄毛が植毛された洗浄ブラシを備え、この洗浄ブラシを回転させた状態で前記洗浄毛に洗浄液を供給しつつその毛先部分を被洗浄面に押し当てて洗浄処理を行うスクラブ洗浄装置において、前記洗浄ブラシの回転中心側の領域がその外側領域よりも低い植毛密度で植毛されていることを特徴とするスクラブ洗浄装置。

IPC (5件)：

B08B 1/04 ,  A46B 7/08 ,  A46B 9/02 ,  A46B 15/00 ,  H01L 21/304 341

FI (5件)：

B08B 1/04 ,  A46B 7/08 ,  A46B 9/02 ,  A46B 15/00 Z ,  H01L 21/304 341 B