特許
J-GLOBAL ID：200903092992791761
静電チャック
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-322078
公開番号（公開出願番号）：特開平6-177231
出願日： 1992年12月01日
公開日（公表日）： 1994年06月24日
要約：
【要約】【構成】250°C以上の温度域における体積固有抵抗が108 〜1013Ωcmのセラミックス体1に静電電極2を備えて静電チャックを構成する。【効果】CVD装置、PVD装置あるいは高温エッチング装置等の250°C以上の温度で使用しても良好にウェハを吸着することができ、固定、搬送、矯正を行うことができる。
請求項（抜粋）：
250°C以上の温度域における体積固有抵抗が108 〜1013Ωcmの範囲にあるセラミックスに静電電極を備えてなる静電チャック。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B23Q 3/15
, H02N 13/00
