特許

J-GLOBAL ID：200903092999476195

超厚膜用感光性ポリイミド前駆体組成物

発明者： 元部 丈晴
出願人/特許権者： 日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-355586
公開番号（公開出願番号）：特開2004-191404
出願日： 2002年12月06日
公開日（公表日）： 2004年07月08日
要約：

【課題】本発明は、塗布後70um以上形成可能で塗膜外観が良好な超厚膜用感光性ポリイミド前駆体組成物を提供する。【解決手段】(A)ポリイミド前駆体、(B)常圧において100°C以上の沸点を有する付加重合性化合物、(C)光開始剤(D)ポリイミド前駆体の良溶媒と貧溶媒の混合溶剤を含有する感光性ポリイミド前駆体組成物である。【選択図】 無し

請求項（抜粋）：

良好な膜外観が得られる塗布膜厚70um以上形成可能な超厚膜用感光性ポリイミド前駆体組成物。

IPC (5件)：

G03F7/027 ,  C08K5/00 ,  C08L79/08 ,  G03F7/004 ,  H01L21/027

FI (5件)：

G03F7/027 514 ,  C08K5/00 ,  C08L79/08 A ,  G03F7/004 501 ,  H01L21/30 502R

Fターム (13件)：

2H025AB16 ,  2H025AD01 ,  2H025BC42 ,  2H025BC43 ,  2H025BC69 ,  2H025CA01 ,  2H025CA20 ,  2H025CA27 ,  2H025CA28 ,  2H025CC03 ,  4J002CM041 ,  4J002GQ05 ,  4J002HA05