特許

J-GLOBAL ID：200903093002484645

可動ステージの変位量超精密測定方法

発明者： 田畑 文夫 ,  関口 英紀 ,  鎌田 徹 ,  阪田 裕司
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 伊東 忠彦 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-048900
公開番号（公開出願番号）：特開平5-248854
出願日： 1992年03月05日
公開日（公表日）： 1993年09月28日
要約：

【要約】【目的】 本発明は可動ステージの変位量超精密測定方法に関し、可動ステージの所定の位置の変位量をナノメータオーダで測定可能とする方法を実現することを目的とする。【構成】 可動ステージ内であって、且つ変位量を測定しようとする位置P0 の周囲の複数の位置のP1 〜P4 変位量を測定する工程31と、この工程により得た上記複数の位置P1 〜P4 の夫々の変位量に基づいて上記所定の位置の変位量を算出する工程32とより構成する。

請求項（抜粋）：

可動ステージの所定の位置の変位量を測定する方法であって、上記可動ステージ内であって、且つ上記所定の位置の周囲の複数の位置の変位量を測定する工程(31)と、該複数位置変位量測定工程により得た上記複数の位置の夫々の変位量に基づいて上記所定の位置の変位量を算出する工程(32)とよりなる構成としたことを特徴とする可動ステージの変位量超精密測定方法。

IPC (4件)：

G01B 21/00 ,  G05D 3/00 ,  G05D 3/12 ,  G12B 5/00