特許

J-GLOBAL ID：200903093005150322

薄膜電子式作像装置及び薄膜電子式作像装置の欠陥を修理する方法

発明者： ロジャー・スティーブン・ソールズベリー
出願人/特許権者： ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ
代理人 (1件)： 生沼 徳二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-183694
公開番号（公開出願番号）：特開平8-191142
出願日： 1995年07月20日
公開日（公表日）： 1996年07月23日
要約：

【要約】【目的】 装置の雑音特性に悪影響を及ぼさないような電気的漏れの小さい修理区域を有する薄膜電子式作像装置を提供する。【構成】 薄膜電子式作像装置100が上側導電層120とその下側にある部品140との間に修理区域を有しており、導電層120及び誘電体層130の一部を除去して、導電層120が部品140から電気的に隔離されるように構成されている。修理区域は、部品140の材料で構成された表面を有しているボトム・レベルと、修理区域の周縁の周りに延在しており、誘電体層の材料で構成された表面を有している中間段形レベルとを有している。中間段形レベルの横方向の寸法は、ボトム・レベルの横方向の寸法よりも大きく、中間レベルの段の表面の幅は、1μmと3μmとの間の範囲内にある。修理区域における構造の形成は、レーザ削摩により材料を除去し、欠陥を切除した領域にある誘電体材料の側壁から導電層120を引っ込めることにより行われる。

請求項（抜粋）：

当該装置内のそれぞれの層に設けられた導電部品に影響を及ぼす欠陥を修理した薄膜電子式作像装置であって、第1のレベルに設けられており、透明な導電性酸化物材料で構成されている上側導電層と、第2のレベルに設けられている下側の導電部品と、前記上側の導電層の下側にある電気絶縁領域内にある前記下側の部品の間で、前記上側の導電層の下方に設けられている誘電体材料の層と、前記装置の前記電気絶縁領域内に設けられている修理区域であって、前記上側導電層が前記修理区域内で前記下側の部品から電気的に隔離されるように、前記上側導電層及び前記誘電体材料の層の一部は除去されている、修理区域とを備えており、該修理区域は、前記下側の導電部品の材料で構成された表面を有しているボトム・レベルであって、第1の横方向の寸法を有しているボトム・レベルと、前記誘電体の層の材料で構成された表面を有している中間段形レベルであって、該中間段形レベルは、第2の横方向の寸法を有しており、該第2の横方向の寸法は、前記上側導電層が前記中間段形レベルの表面と前記ボトム・レベルの表面との間を延在している側壁から引っ込んでいるように、前記第1の横方向の寸法よりも大きい、中間段形レベルとを有している薄膜電子式作像装置。

IPC (3件)：

H01L 27/146 ,  H01L 27/14 ,  H01L 31/14

FI (2件)：

H01L 27/14 C ,  H01L 27/14 Z