光ディスク原盤露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：樺山亨 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-182476
公開番号（公開出願番号）：特開平8-045114
出願日： 1994年08月03日
公開日（公表日）： 1996年02月16日
要約：

【要約】【目的】露光ビーム形状を整形でき、レジスト板(光ディスク原盤)に形成する溝形状を矩形化することのできる光ディスク原盤露光装置を提供する。【構成】本発明では、レーザ光源1より出射したレーザ光が光量変調器2及びパルス変調器3により変調光となり、第1レンズ4、偏向変調器5、第2レンズ6でビーム整形を行ない、反射ミラー7によりレーザ光を一部抽出して対物レンズ8によりレジスト板9へ露光を行なう露光光学系を備えた光ディスク原盤露光装置において、ビーム整形に用いる第1レンズ4、第2レンズ6には同じ焦点距離のレンズを用い、第2レンズ6によりコリメートを行なう。ビーム整形に用いる偏向変調器5はラマンナス回折をするように調整して±1次光の強度分布が均一になるように設置する。また、偏向変調器5はレジスト板9の半径方向に±1次回折光が得られるように設置する。

請求項（抜粋）：

レーザ光源(1)より出射したレーザ光が光量変調器(2)及びパルス変調器(3)により変調光となり、第1レンズ(4)、偏向変調器(5)、第2レンズ(6)でビーム整形を行ない、反射ミラー(7)によりレーザ光を一部抽出して対物レンズ(8)によりレジスト板(9)へ露光を行なう露光光学系を備えた光ディスク原盤露光装置において、前記ビーム整形に用いる第1レンズ(4)、第2レンズ(6)には同じ焦点距離のレンズを用い、第2レンズ(6)によりコリメートされていることを特徴とする光ディスク原盤露光装置。

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