特許
J-GLOBAL ID：200903093007974187
超音波洗浄方法と装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
高橋 敬四郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-157177
公開番号（公開出願番号）：特開平7-014814
出願日： 1993年06月28日
公開日（公表日）： 1995年01月17日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、洗浄むらが発生しないように均一に洗浄することが可能な超音波洗浄技術を提供することを目的とする。【構成】 本発明の超音波洗浄方法は、被洗浄物(5)を洗浄液(11)中に浸し、超音波振動子から洗浄液中に放射された超音波を前記被洗浄物(5)に照射し、洗浄を行う超音波洗浄方法において、超音波振動子を洗浄液中で移動させながら(8)洗浄を行うことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
被洗浄物を洗浄液中に浸し、超音波振動子から洗浄液中に放射された超音波を前記被洗浄物に照射し、洗浄を行う超音波洗浄方法において、超音波振動子を洗浄液中で移動させながら洗浄を行うことを特徴とする超音波洗浄方法。
IPC (3件)：
H01L 21/304 341
, B06B 1/00
, B08B 3/12
