特許

J-GLOBAL ID：200903093011101520

キュア装置

発明者： 新井 満夫 ,  菅沼 年春
出願人/特許権者： 株式会社新川
代理人 (1件)： 田辺 良徳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-235895
公開番号（公開出願番号）：特開平8-078443
出願日： 1994年09月05日
公開日（公表日）： 1996年03月22日
要約：

【要約】【目的】試料の搬送不良が生じた時に試料の取り除き、搬送ワイヤ切れの場合の搬送ワイヤの交換作業、搬送ワイヤ及びヒートブロックの清掃作業等が短時間に能率良く行う。【構成】試料を加熱するための複数個のヒートブロックを内部に有した試料加熱室用ケーシング4と、試料加熱室用ケーシング5の上に配設され、前記ヒートブロックに対応して形成されたガス供給スリット形成板のガス供給スリットを通してヒートブロック上に高温ガスを供給するガス供給室用ケーシング5とを有し、ガス供給室用ケーシング5を試料加熱室用ケーシング4に対して開閉自在に構成した。

請求項（抜粋）：

リードフレームにペーストを介してチップがボンディングされた試料の前記ペーストを乾燥させるキュア装置において、前記試料搬送方向に隙間を有して配設され、前記試料を加熱するための複数個のヒートブロックを内部に有した試料加熱室用ケーシングと、この試料加熱室用ケーシングの上に配設され、前記ヒートブロックに対応してガス供給スリットが形成されたガス供給スリット形成板を有し、前記ガス供給スリットを通して前記ヒートブロック上に高温ガスを供給するガス供給室用ケーシングと、前記試料を前記各ヒートブロック上に順次載置するように搬送する搬送手段と、前記試料加熱室用ケーシングで発生する有害ガスを排気する排気管とを備え、前記ガス供給室用ケーシングは前記試料加熱室用ケーシングに対して開閉自在に構成されていることを特徴とするキュア装置。