特許
J-GLOBAL ID:200903093011203365

電子源

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 山本 惠二
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-258930
公開番号(公開出願番号):特開2003-066199
出願日: 2001年08月29日
公開日(公表日): 2003年03月05日
要約:
【要約】【課題】 電子線の端部を整形することができ、しかも引出し電極の端部付近で生じる温度差を低減して引出し電極の変形を緩和することができるようにする。【解決手段】 この電子源6aは、電子10を面状に発生させる熱陰極8と、それで発生させた電子10を電子線10aとして引き出す2枚の引出し電極であって、上流側の第1引出し電極12およびこれと同電位の下流側の第2引出し電極14とを備えている。そして、第2引出し電極14と第1引出し電極12との間に、熱陰極8からの面状の電子10の端部領域を遮って、第2引出し電極14から引き出される電子線10aの端部を整形するマスク26を、第2引出し電極14のY方向における両端部にそれぞれ設けている。各マスク26は、多孔状の導体から成り、かつ電気的には、他の導体から絶縁されていて浮遊電位状態にある。
請求項(抜粋):
電子を発生させる熱陰極と、この熱陰極で発生させた電子を電子線として引き出す2枚の引出し電極であって上流側の第1引出し電極およびこれと同電位の下流側の第2引出し電極とを備える電子源において、前記熱陰極と前記第2引出し電極との間に設けられていて前記熱陰極からの電子の端部領域を遮って、前記第2引出し電極から引き出される電子線の端部を整形するものであって、多孔状の導体から成りかつ浮遊電位状態にあるマスクを備えていることを特徴とする電子源。
IPC (2件):
G21K 5/04 ,  G21K 1/02
FI (2件):
G21K 5/04 E ,  G21K 1/02 R

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