特許

J-GLOBAL ID：200903093012223254

粒子膜形成方法

発明者： 冨田 勝彦 ,  堀場 雅夫 ,  廣瀬 渉
出願人/特許権者： 株式会社堀場製作所
代理人 (1件)： 藤本 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-103942
公開番号（公開出願番号）：特開2001-286814
出願日： 2000年04月05日
公開日（公表日）： 2001年10月16日
要約：

【要約】【課題】 液体、固体粒子を混合・分散・乳化させた液体またはガスを混入した液体などの液体ターゲットによって微小領域に液体粒子膜または固体粒子膜を形成させる方法を提供すること。【解決手段】 液体1、固体粒子7を混合・分散・乳化させた液体8またはガスを混入した液体のいずれかをターゲットとし、このターゲットを一方の極とした電極に、直流電圧または直流バイアス電圧を有する交流電圧を印加し、他方の極3方向に微粒子化したターゲットを放出させ、特定領域にターゲット中に含まれる粒子を堆積させることにより、液体粒子膜または固体粒子膜を形成させるようにしたことを特徴としている。

請求項（抜粋）：

液体、固体粒子を混合・分散・乳化させた液体またはガスを混入した液体のいずれかをターゲットとし、このターゲットを一方の極とした電極に、直流電圧または直流バイアス電圧を有する交流電圧を印加し、他方の極方向に微粒子化したターゲットを放出させ、特定領域にターゲット中に含まれる粒子を堆積させることにより、液体粒子膜または固体粒子膜を形成させるようにしたことを特徴とする粒子膜形成方法。

IPC (4件)：

B05D 1/04 ,  C23C 16/44 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/31

FI (4件)：

B05D 1/04 Z ,  C23C 16/44 A ,  H01L 21/203 Z ,  H01L 21/31 A

Fターム (24件)：

4D075AA09 ,  4D075AA87 ,  4D075BB32Y ,  4D075CA47 ,  4D075DA06 ,  4D075DB01 ,  4D075DC21 ,  4D075EA05 ,  4K030AA11 ,  4K030AA24 ,  4K030BA18 ,  4K030BA22 ,  4K030FA10 ,  4K030KA49 ,  4K030LA01 ,  5F045AA03 ,  5F045AA06 ,  5F045AB31 ,  5F045AC07 ,  5F045DP03 ,  5F045DQ10 ,  5F045EF02 ,  5F103AA10 ,  5F103RR10