特許

J-GLOBAL ID：200903093014530693

2端部を有する同調フオーク体の2ポート付電磁駆動装置

発明者： ウツドラフ.ジエイムズ アール. ,  ロビンソン,マイケル ジエー.
出願人/特許権者： アライド・シグナル・インコーポレーテツド
代理人 (1件)： 高山 敏夫
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-521436
公開番号（公開出願番号）：特表平9-508973
出願日： 1995年02月14日
公開日（公表日）： 1997年09月09日
要約：

【要約】微細機械加工され電磁的に励振されるシリコンのビーム部材加速度計(40)に、ヒンジ軸HAを区画する一対のたわみ部材(46)を介し外側のケーシンク(42)に付設される振動子としての基準質量体(44)が含まれる。2端部を有した同調フオーク体(48)は基準質量体(44)とケーシンク(42)の間に、感知軸SAをなすヒンジ軸HAに対しほぼ垂直な軸に沿つて連結され、これにより感知軸SAに沿つて力が与えられたとき2端部を有した同調フオーク体(48)が拡張若しくは圧縮される。基準質量体(44)が静止している状態で電磁的に励振されると、振動ビーム部材(52、54、102、104、106、108、134、136)は共振周波数で振動する。感知軸SAに沿つた力に応動して、振動ビーム部材(52、54、102、104、106、108、134、136)が拡張若しくは圧縮され、これにより振動周波数が変化され、この変化は力の目安として使用される。この励振は2端部を有した同調フオーク体の平面に対しほぼ垂直で感知軸SAに対し垂直な方向に加えられる磁界Bからなる。製造公差あるいは温度による振動ビーム部材(52、54、102、104、106、108、134、136)の抵抗路の変化影響を取り除くため、本発明による同調フオーク体(48)は駆動回路とピツクオフ回路用の分離した導電路を有する2ポート装置として形成される。互いに分離した導電路を具備させることにより、駆動回路の抵抗路の変化が発振器の性能全体に与える影響は殆どない。振動ビーム部材(52、54、102、104、106、108、134、136)が分離されているため、2端部を有する同調フオーク体(48)を形成する振動ビーム部材(52、54、102、104、106、108、134、136)に対し機械的に充分に連結されるべく構成されている。

請求項（抜粋）：

基準質量体(44)と、ケーシング(42)と、ヒンジ軸HAを区画するケーシング(42)に対し基準質量体(44)を連結する複数のたわみ部材(46)と、基準質量体(44)とケーシング(42)との間に連結される複数の振動ビーム部材(52、54、102、104、106、108、134、136)とを備え、複数の振動ビーム部材(52、54、102、104、106、108、134、136)には複数のポートをなす電気的に絶縁された分離導電路(60、62、110、112、138、140、142、144)が形成されてなる振動ビーム部材加速度計(40)。

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特表平3-501530
  
• 特開平2-038934