特許
J-GLOBAL ID：200903093023820548
原子間力顕微鏡用プローブ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 正年 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-113880
公開番号（公開出願番号）：特開平5-346324
出願日： 1991年04月19日
公開日（公表日）： 1993年12月27日
要約：
【要約】【目的】 原子間力顕微鏡に用いられるプローブにおいて、検出感度が高く、表面の凹凸のアスペクト比が高い試料に対しても高解像度で測定できるプローブを提供する。【構成】 湾曲したプレート部2の凸面側の先端部にチップ1を設けたプローブとする。【効果】 プローブが固定された基板4を傾けてセットした場合でも、原子間力の検出部分での法線nと試料表面5とが直交するので、プローブの変位する方向と原子間力の方向とが一致し、検出感度が向上する。また、チップが試料表面に対して垂直な状態に保たれるので、表面の凹凸のアスペクト比が高い試料でも充分に測定可能である。
請求項（抜粋）：
湾曲したプレート部と該プレート部の凸面側の略先端部に突設されたチップとを備えたことを特徴とする原子間力顕微鏡用プローブ。
IPC (2件)：
引用特許：
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