特許
J-GLOBAL ID：200903093033913420
プローブ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-328920
公開番号（公開出願番号）：特開平6-151532
出願日： 1992年11月13日
公開日（公表日）： 1994年05月31日
要約：
【要約】【目的】 プローブカード側の電極とテストヘッド側の電極との間の電気抵抗を小さくし、各電極間の電気抵抗値を均一にして電気的測定を行うこと。【構成】 中間接触体であるコンタクトリング5の上面側及び下面側に、コンタクトリング5の厚さ方向に伸縮可能なベローズ部61の両端に端子スリーブ62を設けてなる上部接触子6A及び下部接触子6Bを夫々テストヘッド7側の電極72及びプローブカード4側の電極44の配列に対応して設け、リング本体51内に設けたスルーホール部63によって上部接触子6A及び下部接触子6Bを互いに電気的に接続する。これら接触子6A及び6Bはベローズ部61の復元力によって、夫々電極72、44に押圧された状態で接触し、プローブカード3とテストヘッド7とが電気的に接続される。
請求項（抜粋）：
プローブカードに配設された電極とこの電極に対応してテストヘッドに配設された電極とを中間接触体を介して電気的に接続して被検査体の電気的測定を行うプローブ装置において、前記中間接触体の一面側及び他面側に中間接触体の厚さ方向に伸縮自在な導電性のベローズ部を有する接触子を、テストヘッドの電極及びプローブカードの電極に夫々対応して配列し、前記中間接触体の一面側の接触子と他面側の対応する接触子とは、互いに電気的に接続されていることを特徴とするプローブ装置。
IPC (3件)：
H01L 21/66
, G01R 1/073
, H01R 13/24
