特許
J-GLOBAL ID：200903093034735550
スイッチング素子
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-019130
公開番号（公開出願番号）：特開2001-210817
出願日： 2000年01月27日
公開日（公表日）： 2001年08月03日
要約：
【要約】【課題】集積回路において設計ルールを微細化しても、スイッチング部においてショートチャンネル効果が原理的に発生しないスイッチング素子を提供すること。【解決手段】金属層(201)と絶縁体層(202)を繰り返して積層した超格子106において、前記超格子の面直方向に関して上下の位置にそれぞれ電極102、104を配した構成をとる。
請求項（抜粋）：
金属層と絶縁体層を繰り返して積層した超格子からなるチャンネル、および前記超格子の面直方向に関して上下の位置にそれぞれ電極を配置した構成をとることを特徴とするスイッチング素子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 29/66
, H01L 41/08 U
