磁気ディスク及び磁気ディスクの製造方法並びにその装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-074936
公開番号（公開出願番号）：特開平6-290457
出願日： 1993年04月01日
公開日（公表日）： 1994年10月18日
要約：

【要約】【目的】本発明は磁気ディスクの製造方法に関し、磁気ヘッドの低浮上化が可能な高記録密度で信頼性の高い磁気ディスクを提供することにある。【構成】表面に加工液噴出孔を設けたそれぞれ任意に回転する対向する上下定盤2と被加工物である磁気ディスク基板1の外周端を支持し、任意に回転するキャリア3からなる加工装置により加工液噴出孔から噴出される微細な砥粒を含んだ加工液により磁気ディスク基板1を浮上させ、上下定盤2に磁気ディスク基板を接触することなく研磨加工することにより平面度の高い磁気ディスク基板を得る。

請求項（抜粋）：

キャリアで保持された磁気ディスクの両面を上下定盤により研磨し、磁気ディスクを製造する磁気ディスクの製造方法において、前記上下定盤の表面より加工液を噴出し、前記上下定盤の間でキャリアに保持された磁気ディスクを前記上下定盤より浮上させ、前記浮上させた状態で前記上下定盤及びキャリアを回転させて前記磁気ディスクの表面を研磨加工してこれを製造することを特徴とする磁気ディスクの製造方法。

IPC (2件)：

G11B 5/84 , B24B 37/04

引用特許：

審査官引用 (14件)

特開昭61-014855
特開昭62-102971
特開平1-153273

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