特許
J-GLOBAL ID:200903093040774991
光強度の調節方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
重野 剛
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-166824
公開番号(公開出願番号):特開平5-011455
出願日: 1991年07月08日
公開日(公表日): 1993年01月22日
要約:
【要約】【目的】 レーザ光等の強度を安定かつ高精度に、速い応答速度で容易に調節することができる光強度の調節方法を提供する。【構成】 光路L上にガルバノメータ式シャッタ2を配置し、ガルバノメータ式シャッタ2を短周期にて開閉させると共に、該シャッタの開放時間を長短調節することにより光強度を調節する。【効果】 シャッタ2の開閉周期において、単位時間当りの開放時間を長短調節することにより、単位時間当りのシャッタ透過光量を増減させ、光強度を調節する。ガルバノメータ式シャッタは高速応答性能に優れることから、レーザ発振器から発振されるレーザ光等の光強度を、安定かつ精度良く、しかも迅速に調節できる。
請求項(抜粋):
光路上にガルバノメータ式シャッタを配置し、該ガルバノメータ式シャッタを短周期にて開閉させると共に、該シャッタの開放時間を長短調節することにより光強度を調節することを特徴とする光強度の調節方法。
IPC (4件):
G03F 7/20 505
, B29C 35/08
, B29C 67/00
, B29K105:24
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