特許

J-GLOBAL ID：200903093057496936

ダイシング方法及びトリプルスピンドルダイサー

発明者： 三宅川 泰二
出願人/特許権者： 株式会社ディスコエンジニアリングサービス
代理人 (1件)： 秋元 輝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-144299
公開番号（公開出願番号）：特開平9-326373
出願日： 1996年06月06日
公開日（公表日）： 1997年12月16日
要約：

【要約】【課題】 チップの表裏面のチッピングを防止できるようにした、ダイシング方法及びその方法に用いるトリプルスピンドルダイサーを提供する。【解決手段】 ウェーハの表面に形成されたストリートに沿ってV溝等の面取り切削を遂行する面取り工程と、面取り部に沿って切削代を僅かに残して不完全切削を遂行する不完全切削工程と、不完全切削部に沿って完全切断を遂行する完全切断工程とからなるダイシング方法である。このダイシング方法に用いるトリプルスピンドルダイサーは、面取り用ブレードが装着される第1のスピンドルと、不完全切削用ブレードが装着される第2のスピンドルと、完全切断用ブレードが装着される第3のスピンドルとを少なくとも含む。

請求項（抜粋）：

ウェーハの表面に形成されたストリートに沿ってV溝等の面取り切削を遂行する面取り工程と、面取り部に沿って切削代を僅かに残して不完全切削を遂行する不完全切削工程と、不完全切削部に沿って完全切断を遂行する完全切断工程とからなるダイシング方法。

IPC (2件)：

H01L 21/301 ,  B28D 5/02

FI (3件)：

H01L 21/78 Q ,  B28D 5/02 A ,  H01L 21/78 F

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭61-293811
  
• 特開昭63-246208
  
• 特開昭61-293811
  
• 特開昭63-246208