特許

J-GLOBAL ID：200903093057825182

基板搬送装置

発明者： 相場 武 ,  平田 芳美
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 高橋 光男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-049422
公開番号（公開出願番号）：特開平11-246046
出願日： 1998年03月02日
公開日（公表日）： 1999年09月14日
要約：

【要約】【課題】 基板が撓んだり損傷を受けたりすることなく搬送できる、フットプリントの小さい基板搬送装置を提供する。【解決手段】 基板搬送装置19は、搬送方向に沿って水平に延びた2本のレール20A、Bと、レール20Aに沿って走行し、基板の上側周縁部の一部を両面から挟持する基板挟持機構26を有する走行車24Aと、レール24Bに沿って走行し、薄厚で角部を有する矩形の基板11の下側周縁部の一部の表側及び裏側をガイドするガイド体44を有する走行車24Bとを備えている。これにより、基板11を垂直にして、かつ、上側周縁部を挟持して搬送することが可能になる。

請求項（抜粋）：

薄厚の矩形又は正方形の基板を垂直にして搬送する基板搬送装置であって、搬送方向に沿って延びた一本のレールと、基板の上側周縁部の少なくとも一部を両面から挟持することにより基板を垂直方向に支持する基板挟持機構を有し、レールに沿って走行する走行車とを備えていることを特徴とする基板搬送装置。