特許
J-GLOBAL ID：200903093066434188
真空蒸着装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐當 彌太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-297714
公開番号（公開出願番号）：特開平6-122966
出願日： 1992年10月08日
公開日（公表日）： 1994年05月06日
要約：
【要約】【目的】 蒸着厚さのバラツキが少なく、緻密で均一な蒸着膜を高能率に形成できる真空蒸着装置。【構成】 真空ポンプ(10)により吸引減圧され高真空度に保たれるケーシング(12)の内部に、この真空度における沸点よりも高い温度に金属等の原料(G)を加熱する加熱手段(21)を備えた蒸発部(20)と、該蒸発部で気化した前記金属等の原料蒸気(J)で被着されるべき粉粒状素材(B)を保持する被着部(30)とが収容され、前記ケーシングの上部に配置された蒸発部から所要の間隔を隔てて被着部(30)が該ケーシングの下部に配置され、この被着部が、上向き開放状の素材容器(31)を支持する受け台(32)と、この受け台に容器内の素材を巡環させるべく連結した駆動部(33)とを備えたものであり、前記の蒸発部は、原料金属を収容する槽体(22)と、その内部上方空間(23)に連通した蒸気誘導流路(24)と、該流路の底に開口した蒸気下向き噴射用のオリフィス(25)とを備えている。
請求項（抜粋）：
真空ポンプ(10)により吸引減圧され高真空度に保たれるケーシング(12)の内部に、この真空度における沸点よりも高い温度に金属等の気化原料(G)を加熱する加熱手段(21)を備えた蒸発部(20)と、該蒸発部(20)における槽体(22)の内部で気化した前記金属等の気化原料(G)の蒸気(J)で被着されるべき粉粒状素材(B)を密集状態に保持する被着部(30)とが収容された蒸着装置であって、前記ケーシング(12)の上部に配置された蒸発部(20)から所要の間隔を隔てて被着部(30)が該ケーシングの下部に配置され、この被着部(30)が、上向き開放状の素材容器(31)を下方から支持する受け台(32)と、容器(31)内の素材(B)を巡環させるべくこの受け台(32)に連結された駆動部(33)とを備えたものであり、前記の蒸発部(20)は、原料金属(G)を収容する槽体(22)と、その内部上方空間(23)に連通した蒸気誘導流路(24)と、該流路の底に開口した蒸気下向き噴射用のオリフィス(25)とを備えていることを特徴とする真空蒸着装置。
引用特許：
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