特許
J-GLOBAL ID：200903093067786797
材料試料を粒子-光学的に検査して処理する装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松隈 秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-311832
公開番号（公開出願番号）：特開平5-225937
出願日： 1992年11月20日
公開日（公表日）： 1993年09月03日
要約：
【要約】【目的】 材料試料を粒子-光学的に検査して処理する装置において、より簡単な構造によって物質試料を正確な位置に配置することができるようにすることを目的とする。【構成】 コラム2とテーブル装置1とは対物面の垂線に対して特定の角度にて囲むように互いに相対的に第1の回転軸線5周りに回転可能であり、コラム2はその光軸7が第1の回転軸線5に対してそれと同一の傾斜角を形成するように配置されている。
請求項（抜粋）：
材料試料を粒子-光学的に検査して処理する装置において、粒子線を生成する粒子-光学的コラムと、材料試料を受入れ該材料試料を少なくとも互いに直交するx軸及びy軸方向に変位させることが可能であり更に上記粒子-光学コラムと上記材料試料との間で少なくとも1つの軸線周りに相対的な回転運動がなし得るように構成されたテーブル装置とを有し、上記コラム及びテーブル装置は第1の回転軸線周りに互いに相対的に回転可能であり、上記第1の回転軸線は上記x軸及びy軸方向によって形成される平面の垂線に対して最大45°の傾斜角を囲み且つ上記材料試料上の検査され処理される位置を通り、上記コラムは更に、その光軸が上記第1の回転軸線と上記傾斜角を形成し且つ上記材料試料上の検査され処理される位置を通るように配置されていることを特徴とする材料試料を粒子-光学的に検査して処理する装置。
IPC (5件)：
H01J 37/20
, G01N 21/88
, H01J 37/16
, H01J 37/22
, H01J 37/28
