特許

J-GLOBAL ID：200903093068703631

マスフローコントローラおよび集積化流量制御装置

発明者： 冨田 勝彦 ,  磯部 泰弘 ,  上坂 博二 ,  清水 哲夫
出願人/特許権者： 株式会社堀場製作所 ,  株式会社エステック
代理人 (1件)： 藤本 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-296227
公開番号（公開出願番号）：特開平11-119835
出願日： 1997年10月13日
公開日（公表日）： 1999年04月30日
要約：

【要約】【課題】 腐蝕性ガスなどによって冒されたりせず、また、強い衝撃力にも耐えうる丈夫で安全な構造を有する小型で有用なマスフローコントローラを提供すること。【解決手段】 不活性ガスを封入した密閉容器2内に、シリコン基板部6と、この上面に接合される接ガスチップ部7とを設け、この接ガスチップ部7を複数の耐腐蝕性金属板13a〜13eを複数積層した多層構造に形成し、その内部に流路14を形成するとともに、この流路14に流量測定部15と流量制御部16とを形成している。

請求項（抜粋）：

不活性ガスを封入した密閉容器内に、シリコン基板部と、この上面に接合される接ガスチップ部とを設け、この接ガスチップ部を複数の耐腐蝕性金属板を複数積層した多層構造に形成し、その内部に流路を形成するとともに、この流路に流量測定部と流量制御部とを形成したことを特徴とするマスフローコントローラ。