特許
J-GLOBAL ID：200903093073423620
光学式表面形状測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-184777
公開番号（公開出願番号）：特開平6-003128
出願日： 1992年06月19日
公開日（公表日）： 1994年01月11日
要約：
【要約】【目的】面外形状と面内形状を、一つの測定装置で同時に高精度で測定する測定装置を提供すること。【構成】音響光学素子から周波数が異なり強度分布が自由に制御できる2ビーム光を発生させ、光ヘテロダイン干渉機能と共焦点走査顕微鏡機能を一つの光学装置内に設け、反射光信号の位相検出で面外形状を測定し、反射光強度信号の共焦点検出で面内形状を測定する。【効果】面外、面内形状を同時に高精度でリアルタイム的に測定できる。プローブ光として用いる2ビーム光は振動等の影響を受けにくく安定な測定が可能である。反射光信号は簡素なデータ処理でよいため、小型、安価な測定装置が実現でき、生産ラインでのインライン測定に適している。
請求項（抜粋）：
レーザ光源から放射されたレーザ光を第一のビームスプリッターを透過させて音響光学素子に入射し、該音響光学素子から周波数の異なる2ビーム光からなるプローブ光を発生させて走査させ、第二のビームスプリッターで前記プローブ光を2つの方向に分離せしめ、該第二のビームスピリッターで反射し一方の方向に進行するプローブ光を第一の受光器で検出して参照光ビート信号を作成し、前記第二のビームスプリッターを透過して進行するプローブ光を対物レンズで微小スポットに集光して形状が測定される被測定物面上に照射して走査し、該被測定物からの反射光の一部の強度を前記第二のビームスプリッターで反射させて第二の受光器で検出して反射光ビート信号を作成し、該反射光ビート信号と前記参照光ビート信号の間の位相変化を位相比較器で検出して前記被測定物の高さ方向の面外形状を演算する面外形状演算部を設けると共に、前記第二のビームスプリッターを透過した反射光を前記第一のビームスプリッターで反射させ、反射光強度分布の一部の範囲の強度を第三の受光器で検出して反射光強度信号を作成し、該反射光強度信号の強度変化から前記被測定物の面内形状を演算する面内形状演算部を設け、面外形状と面内形状を同時に測定することを特徴とする光学式表面形状測定装置。
引用特許：
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