特許

J-GLOBAL ID：200903093079723650

圧電アクチュエータ及び位置決め装置

発明者： 坂谷 郁紀 ,  田中 伸明
出願人/特許権者： 日本精工株式会社
代理人 (3件)： 森 哲也 ,  内藤 嘉昭 ,  崔 秀▲てつ▼
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-151314
公開番号（公開出願番号）：特開2004-357393
出願日： 2003年05月28日
公開日（公表日）： 2004年12月16日
要約：

【課題】真空中においてもデューティ比を抑制することなく圧電アクチュエータの寿命延長を図る。【解決手段】圧電素子12に電圧を印加することにより該圧電素子12を振動させ、該振動によって可動体を駆動する圧電アクチュエータ7において、前記圧電素子12と該圧電素子12を内装する筐体11との間に樹脂21又はゲルを封入する。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

圧電素子に電圧を印加することにより該圧電素子を振動させ、該振動によって可動体を駆動する圧電アクチュエータにおいて、 前記圧電素子と該圧電素子を内装する筐体との間に樹脂又はゲルを封入したことを特徴とする圧電アクチュエータ。

IPC (3件)：

H02N2/00 ,  H01L21/027 ,  H01L21/68

FI (3件)：

H02N2/00 C ,  H01L21/68 K ,  H01L21/30 503A

Fターム (25件)：

5F031CA01 ,  5F031HA53 ,  5F031HA57 ,  5F031HA59 ,  5F031KA06 ,  5F031KA08 ,  5F031LA10 ,  5F031MA33 ,  5F031NA05 ,  5F031PA11 ,  5F046CC13 ,  5F046CC17 ,  5H680AA11 ,  5H680AA12 ,  5H680AA20 ,  5H680BB01 ,  5H680BB13 ,  5H680BC10 ,  5H680DD02 ,  5H680DD23 ,  5H680DD55 ,  5H680DD65 ,  5H680DD74 ,  5H680DD82 ,  5H680EE10