特許
J-GLOBAL ID：200903093090360144
レーザ加工方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森本 義弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-287138
公開番号（公開出願番号）：特開2000-117475
出願日： 1998年10月09日
公開日（公表日）： 2000年04月25日
要約：
【要約】【課題】 ガルバノミラーの位置決めを短時間で行うことが可能となり、生産性が向上するレーザ加工方法を提供する。【解決手段】 ガルバノミラー4の目標回転角度と実際の回転移動角度との差を角度差検出部で検出しながら、この差に基づいてフィードバック制御を行ってガルバノミラー4を目標回転角度に位置決めしてレーザ光線を照射するに際し、角度差検出部のゲインをオーバーシュートが発生するように設定し、オーバーシュート時にガルバノミラー4が最適な回転角度となるような目標回転角度を設定し、オーバーシュート時にレーザ光線を照射させる。これにより、ガルバノミラー4の位置決めを短時間で行うことが可能となり、生産性が向上する。
請求項（抜粋）：
レーザ光線をガルバノミラーで反射させ、集光レンズにより集光して加工対象物に照射させることでレーザ加工を行うレーザ加工方法であって、ガルバノミラーの目標回転角度と実際の回転移動角度との差を角度差検出部で検出し、この差に基づいてフィードバック制御を行ってガルバノミラーを目標回転角度に位置決めしてレーザ光線を照射するに際し、前記角度差検出部のゲインをオーバーシュートが発生するように設定するとともに、オーバーシュート時にガルバノミラーが最適な回転角度となるような目標回転角度を設定し、オーバーシュート時にレーザ光線を照射させるレーザ加工方法。
IPC (5件)：
B23K 26/02
, B23K 26/00 330
, B23K 26/06
, G02B 26/08
, H05K 3/00
B23K 26/02 A
, B23K 26/00 330
, B23K 26/06 A
, B23K 26/06 Z
, G02B 26/08 E
, H05K 3/00 N
2H041AA28
, 2H041AB14
, 2H041AZ03
, 2H041AZ06
, 4E068AF01
, 4E068AF02
, 4E068CA09
, 4E068CB05
, 4E068CC06
, 4E068CD12
, 4E068CE03
, 4E068DA11
