特許
J-GLOBAL ID:200903093092404165
保護膜付きポリゴンミラーとその製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-351275
公開番号(公開出願番号):特開2003-149580
出願日: 2001年11月16日
公開日(公表日): 2003年05月21日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】ポリゴンミラー面の機械的強度を向上させ、ポリゴンミラーの長寿命化を実現することを目的とする。【解決手段】反射面2にSiO2層を作るための前駆体を含む液状化合物3’を前記反射面2に塗布し、水蒸気雰囲気中で加熱焼成して前記液状化合物3’をSiO23に転化させ、保護膜付きポリゴンミラー1を作成する。前記液状化合物3’としてはポリシラザンを含む有機溶液を使用し、そして前記反射面2の基板材として、金属材料、ガラス、カーボン、セラミックスまたはプラスチックを用いる。
請求項(抜粋):
反射面にSiO2層を作るための前駆体を含む液状化合物を前記反射面に塗布し、前記液状化合物を転化してSiO2となすことにより作製したことを特徴とする保護膜付きポリゴンミラー。
IPC (4件):
G02B 26/10
, G02B 26/10 102
, C03C 17/27
, C23C 18/12
FI (4件):
G02B 26/10 F
, G02B 26/10 102
, C03C 17/27
, C23C 18/12
Fターム (19件):
2H045AA06
, 2H045AA62
, 4G059AA11
, 4G059AB11
, 4G059AB19
, 4G059AC16
, 4G059EA05
, 4G059EB05
, 4K022AA02
, 4K022AA03
, 4K022AA04
, 4K022AA13
, 4K022AA41
, 4K022BA15
, 4K022BA20
, 4K022BA33
, 4K022DA06
, 4K022DB01
, 4K022DB24
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