特許

J-GLOBAL ID：200903093096010668

マスクフレーム、露光方法及び露光装置

発明者： 平柳 徳行
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-194708
公開番号（公開出願番号）：特開2005-032886
出願日： 2003年07月10日
公開日（公表日）： 2005年02月03日
要約：

【課題】マスクを保護するとともに、マスクのフレームからの取り付け取り外しの際のマスク位置再現性を向上させたマスクフレームなどを提供する。【解決手段】マスクフレーム20は、上プレート21と下プレート23を有し、両プレートはビス25で締結される。マスク10は、下プレート23の基準側マスク保持パッド33と、上プレート21の下面のマスク保持パッド31に挟まれて保持される。マスク10はノッチ11において、ノッチ押さえピン35-1を含む3つのマスク位置決めピン35によって、基準側マスク保持パッド33の上面上で拘束される。両プレート21、23の中央部には、電子線を通過させるための窓(開口)27、29が開けられている。パターン位置検査時と露光時は、マスク10はフレーム20に保持されたまま検査装置や露光装置に保持される。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

感応基板上に露光転写すべきデバイスパターンが形成されたパターン面、該パターン面を補強する支持体層、及び、該支持体層の周囲に設けられた保持部からなるマスクを保持するマスクフレームであって、 該マスクフレームによって前記マスクを保持したまま露光装置内のマスクステージ及び検査装置への搭載並びに保管が可能であり、 また、前記マスクの前記マスクフレームからの取り外し・取り付けが可能であることを特徴とするマスクフレーム。

IPC (4件)：

H01L21/027 ,  G03F1/14 ,  G03F1/16 ,  G03F7/20

FI (4件)：

H01L21/30 541S ,  G03F1/14 M ,  G03F1/16 B ,  G03F7/20 521

Fターム (5件)：

2H095BA09 ,  2H095BC30 ,  2H095BE12 ,  5F056AA22 ,  5F056FA05